Хуткае развіццё ў галіне інфармацыі і оптаэлектронікі спрыяла пастаяннаму абнаўленню тэхналогіі хіміка-механічнай паліроўкі (CMP).У дадатак да абсталявання і матэрыялаў, набыццё паверхняў звышвысокай дакладнасці ў большай ступені залежыць ад распрацоўкі і прамысловай вытворчасці высокаэфектыўных абразіўных часціц, а таксама ад падрыхтоўкі адпаведнай паліравальнай суспензіі.І з пастаянным паляпшэннем патрабаванняў да дакладнасці і эфектыўнасці апрацоўкі паверхні патрабаванні да высокаэфектыўных паліравальных матэрыялаў таксама становяцца ўсё вышэй і вышэй.Дыяксід цэрыю шырока выкарыстоўваецца ў дакладнай апрацоўцы паверхні мікраэлектронных прылад і прэцызійных аптычных кампанентаў.
Паліравальны парашок аксіду цэрыю (VK-Ce01) мае такія перавагі, як моцная рэжучая здольнасць, высокая эфектыўнасць паліроўкі, высокая дакладнасць паліроўкі, добрая якасць паліроўкі, чыстае працоўнае асяроддзе, нізкі ўзровень забруджвання, працяглы тэрмін службы і г.д., і шырока выкарыстоўваецца ў аптычная паліроўка дакладнасці і CMP і г.д. поле займае надзвычай важнае месца.
Асноўныя ўласцівасці аксіду цэрыя:
Аксід цэрыя, таксама вядомы як аксід цэрыя, з'яўляецца аксідам цэрыя.У гэты час валентнасць цэрыя складае +4, а хімічная формула - CeO2.Чысты прадукт - гэта белы цяжкі парашок або кубічны крышталь, а нячысты - парашок ад светла-жоўтага або нават ружовага да чырванавата-карычневага колеру (паколькі ён утрымлівае следавыя колькасці лантана, празеадыму і г.д.).Пры пакаёвай тэмпературы і ціску аксід цэрыю з'яўляецца стабільным аксідам цэрыя.Цэрый таксама можа ўтвараць +3 валентны Ce2O3, які з'яўляецца няўстойлівым і будзе ўтвараць стабільны CeO2 з O2.Аксід цэрыя слаба раствараецца ў вадзе, шчолачы і кіслаце.Шчыльнасць складае 7,132 г/см3, тэмпература плаўлення - 2600 ℃, тэмпература кіпення - 3500 ℃.
Механізм паліроўкі аксіду цэрыя
Цвёрдасць часціц CeO2 не высокая.Як паказана ў табліцы ніжэй, цвёрдасць аксіду цэрыя значна ніжэй, чым у алмаза і аксіду алюмінія, а таксама ніжэй, чым у аксіду цырконія і аксіду крэмнію, што эквівалентна аксіду жалеза.Таму тэхнічна немагчыма дэпаліраваць матэрыялы на аснове аксіду крэмнію, такія як сілікатнае шкло, кварцавае шкло і г.д., з дапамогай аксіду цэрыю з нізкай цвёрдасцю толькі з механічнага пункту гледжання.Тым не менш, аксід цэрыя ў цяперашні час з'яўляецца пераважным паліравальным парашком для паліроўкі матэрыялаў на аснове аксіду крэмнія або нават матэрыялаў з нітрыду крэмнія.Можна заўважыць, што паліроўка аксідам цэрыя мае і іншыя эфекты, акрамя механічных.Цвёрдасць алмаза, які звычайна выкарыстоўваецца для шліфавання і паліроўкі, звычайна мае кіслародныя вакансіі ў рашотцы CeO2, што змяняе яго фізічныя і хімічныя ўласцівасці і аказвае пэўны ўплыў на ўласцівасці паліроўкі.Звычайна выкарыстоўваюцца парашкі для паліроўкі аксіду цэрыя ўтрымліваюць пэўную колькасць іншых рэдказямельных аксідаў.Аксід празеадыму (Pr6O11) таксама мае гранецэнтрычную структуру кубічнай рашоткі, якая прыдатная для паліроўкі, у той час як іншыя рэдказямельныя аксіды лантанідаў не маюць здольнасці паліраваць.Не змяняючы крышталічнай структуры CeO2, ён можа ўтвараць з ім цвёрды раствор у пэўным дыяпазоне.Для паліравальнага парашка з нана-аксідам цэрыю высокай чысціні (VK-Ce01), чым вышэй чысціня аксіду цэрыя (VK-Ce01), тым большая здольнасць да паліроўкі і больш працяглы тэрмін службы, асабліва для аптычных лінзаў з цвёрдага шкла і кварца. доўгі час.Пры цыклічнай паліроўцы пажадана выкарыстоўваць паліравальны парашок аксіду цэрыя высокай чысціні (VK-Ce01).
Прымяненне парашка для паліроўкі аксіду цэрыя:
Парашок для паліроўкі аксіду цэрыю (VK-Ce01), які ў асноўным выкарыстоўваецца для паліроўкі шкляных вырабаў, у асноўным выкарыстоўваецца ў наступных галінах:
1. Акуляры, паліроўка шкляных лінзаў;
2. Аптычная лінза, аптычнае шкло, лінза і інш.;
3. Шкло экрана мабільнага тэлефона, паверхня гадзінніка (дзверца гадзінніка) і інш.;
4. ВК-манітор усе віды ВК-экрана;
5. Стразы, гарачыя брыльянты (карты, брыльянты на джынсах), асвятляльныя шары (раскошныя люстры ў вялікай зале);
6. Крыштальныя вырабы;
7. Частковая паліроўка нефрыту
Бягучыя вытворныя паліроўкі аксіду цэрыя:
Паверхню аксіду цэрыя легіруюць алюмініем, каб значна палепшыць яе паліроўку аптычнага шкла.
Дэпартамент тэхналагічных даследаванняў і распрацовак UrbanMines Tech.Limited, выказаў здагадку, што складанне і мадыфікацыя паверхні паліруючых часціц з'яўляюцца асноўнымі метадамі і падыходамі для павышэння эфектыўнасці і дакладнасці паліроўкі CMP.Таму што ўласцівасці часціц можна наладзіць шляхам злучэння шматкампанентных элементаў, а стабільнасць дысперсіі і эфектыўнасць паліроўкі паліравальнай суспензіі можна палепшыць шляхам мадыфікацыі паверхні.Прадукцыйнасць падрыхтоўкі і паліроўкі парашка CeO2, легаванага TiO2, можа палепшыць эфектыўнасць паліроўкі больш чым на 50%, і ў той жа час дэфекты паверхні таксама памяншаюцца на 80%.Сінэргічны эфект паліроўкі кампазітных аксідаў CeO2 ZrO2 і SiO2 2CeO2;такім чынам, тэхналогія падрыхтоўкі мікра-нанакампазіцыйных аксідаў легаванага дыяксіду цэрыю мае вялікае значэнне для распрацоўкі новых паліравальных матэрыялаў і абмеркавання механізму паліроўкі.У дадатак да колькасці допінгу стан і размеркаванне дабаўкі ў сінтэзаваных часціцах таксама моцна ўплывае на ўласцівасці іх паверхні і прадукцыйнасць паліроўкі.
Сярод іх больш прывабным з'яўляецца сінтэз паліруючых часціц з ашалёўкай.Такім чынам, выбар сінтэтычных метадаў і ўмоў таксама вельмі важны, асабліва тых метадаў, якія з'яўляюцца простымі і эканамічна эфектыўнымі.Выкарыстоўваючы гідратаваны карбанат цэрыю ў якасці асноўнай сыравіны, паліруючыя часціцы аксіду цэрыя, дапаваныя алюмініем, былі сінтэзаваны механахімічным метадам вільготнай цвёрдай фазы.Пад дзеяннем механічнай сілы буйныя часціцы гидратированного карбанату цэрыя могуць расшчапляцца на дробныя часціцы, а нітрат алюмінія рэагуе з аміячнай вадой з адукацыяй аморфных калоідных часціц.Калоідныя часціцы лёгка прымацоўваюцца да часціц карбанату цэрыя, і пасля сушкі і абпалу на паверхні аксіду цэрыя можа быць дасягнута легіраванне алюмініем.Гэтым метадам сінтэзаваны часціцы аксіду цэрыя з рознай колькасцю легіраванага алюмініем і ахарактарызавана іх паліравальная здольнасць.Пасля дадання адпаведнай колькасці алюмінія на паверхню часціц аксіду цэрыя адмоўнае значэнне павярхоўнага патэнцыялу павялічыцца, што, у сваю чаргу, створыць зазор паміж абразіўнымі часціцамі.Узмацняецца электрастатычнае адштурхванне, што спрыяе павышэнню стабільнасці абразіўнай суспензіі.У той жа час узаемная адсорбцыя паміж абразіўнымі часціцамі і станоўча зараджаным мяккім пластом праз кулонаўскае прыцягненне таксама будзе ўзмоцнена, што спрыяе ўзаемнаму кантакту паміж абразіўным і мяккім пластом на паверхні паліраванага шкла і спрыяе павышэнне хуткасці паліроўкі.